TESCOM™ 64-5000 系列负压调压器
64-5000 系列超高纯度绝对压力/负压调压器具备 10 Ra 的表面光洁度。入口压力为 120、600 或 3500 psig / 8.3、41.4 或 241 bar，出口压力范围为从 50 mm Hg 绝对值 - 15 至 100 psig / 50 mm Hg 绝对值 - 1.0 至 6.9 bar。非常适合用于真空压力控制、有毒气体分析、阀箱、气柜和半导体制造。
规格
额定压力
最大入口压力：120、600 或 3500 psig / 8.3、41.4 或 241 bar 出口压力范围：50 mm Hg 绝对值 - 15、30、60、100 psig / 1.0、2.1、4.1、6.9 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀座
Teflon®、PCTFE
膜片
316L 不锈钢
阀杆、弹簧和阀导向器
316 不锈钢
工作温度
Teflon® 阀座：-40 °C 至 71 °C / -40 °F 至 160 °F PCTFE 阀座：-40 °C 至 60 °C / -40 °F 至 140 °F
端口尺寸和类型
1/4 H.P.I.C. 1/4、1/2 外螺纹旋转 1/4、1/2 内螺纹旋转 IN 端口：1/4 外螺纹；OUT 端口：1/4 内螺纹 IN 端口：1/4 内螺纹；OUT 端口：1/4 外螺纹 1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.24（120 psig / 8.3 bar 型号） Cv = 0.15（600 psig / 41.4 bar 型号） Cv = 0.06（3500 psig / 241 bar 型号）
重量
0.9 kg / 2 lb
特点
· 负偏差，可控制真空和低正压
· 内部表面光洁度为 0.25 微米 / 10 Ra 微英寸
· 膜片与阀体之间采用金属对金属设计，实现一流密封性
· 提供 Hastelloy® 阀内件选项
- 2026-05-14
- 2026-05-11
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